В России разработали и изготовили фотонные интегральные схемы (ФИС)

Одна из них создана на основе топологических норм 90 нанометров «Микроном», другая с топологией 350 нанометров выпущена НИИ измерительных систем им. Ю.Е. Седакова

Вместе с тем в стране ведутся исследования для разработки фотонного сопроцессора на принципах интегральной фотоники (НИФТИ ННГУ, МФТИ, НИИИС им. Седакова, «Микрон» и ИФМ РАН)

Эти разработки необходимы для создания гибридной электронно-фотонной вычислительной системы (ФВМ), которая была представлена НЦФМ

Ожидается, что система достигнет производительности до 1 зеттафлопс или 10^21 операций с плавающей запятой в секунду

В презентации отмечается, что российская гибридная электронно-фотонная вычислительная система будет сделана на доступной в России элементной базе

Данные разработки нужны для создания оптических квантовых и нейроморфных процессоров, необходимых для ускорения систем искусственного интеллекта и вычислительных устройств

Вот подробная статья Николая Чхало, заведующий отделом Института физики микроструктур (ИФМ) РАН, доктор физико-математических наук по поводу новой технологии

Минпромторг выделил 400 млн руб. на освоение технологии производства пластин легированного монокристаллического кремния

Ведомство рассчитывает к 2027 г. выйти на производство 100 тысяч полированных пластин нейтронно-трансмутационно легированного монокристаллического кремния диаметром 150 мм

Работы должны быть закончены к 1 декабря 2026 г.

Стоимость одной кремниевой пластины при серийном производстве (к 2027 г.) и размере партии поставки не менее 100 шт. не должна превышать среднерыночную стоимость аналогичных пластин на российском рынке более, чем на 10-15%

В рамках ОКР должны быть разработаны технологии получения и организованы опытно-промышленные производства: слитков кремния монокристаллического по методу бестигельной зонной плавки диаметром 150 мм, слитков кремния монокристаллического нейтронно-трансмутационно легированного и пластин кремниевых полированных монокристаллических нейтронно-трансмутационно легированных

Уникальный рентгеновский микроскоп, который позволит ученым Сибирского кольцевого источника фотонов (СКИФ, Новосибирск) опуститься до фундаментального предела в 50 нанометров, разработали в Томском политехническом университете (ТПУ)

Рентгеновский микроскоп оснащен опцией изменения поля зрения и возможностью быстрой смены монокристаллических сцинтилляционных экранов

Это позволит проводить работу в режиме высокого пространственного разрешения или с высокой чувствительностью

Управлять микроскопом будет программное обеспечение, которое полностью разработано учеными ТПУ

Оно позволит проводить исследования в широком диапазоне разрешений - от нано до мезо, отображать большие объемы данных и проводить статистический анализ состава образцов

Скорость сканирования образцов благодаря этому ПО более чем в 300 раз выше, чем при работе с аналогичными программами

Отмечается, что разработку также можно будет использовать как полноценный научный прибор для исследования образцов методами нанорадиографии и нанотомографии с базовым пространственным разрешением до 270 нанометров

Микроскоп, дополняя оптический тракт экспериментальной станции дифракционными оптическими элементами, позволит ученым опуститься до фундаментального предела станции "Микрофокуса" в 50 нанометров

Это позволит проводить большой спектр экспериментов - от исследования динамики флюидов в поровом пространстве горных пород до флюидов в чипах

А вот и видео установки Эпифас ТМ 200

Минпромторг подал иск к портфельной компании «Роснано» — «Элвис-неотек» с требованием вернуть субсидию в размере 54,8 млн руб.

«Элвис-неотек» получила четыре субсидии от Минпромторга на суммы 199,0 млн руб., (выдана в октябре 2016 г.) 148,3 млн руб. (в декабре 2019 г.), 99,7 млн руб. (в декабре 2018 г.) и 51 млн руб. (в декабре 2019 г.)

Субсидии были выданы на создание научно-технического задела по разработке базовых технологий производства приоритетных электронных компонентов и радиоэлектронной аппаратуры, а также на создание научно-технического задела по разработке базовых технологий производства приоритетных электронных компонентов и радиоэлектронной аппаратуры

В 2022 г. Минпромторг уже обращался в суд для возврата полной суммы субсидии (199,9 млн руб.) компанией «Элвис-неотек», средства были выделены на разработку и выпуск на рынок сферической видеокамеры VisorJet720

И тогда суд встал на сторону министерства

«Элвис-неотек» известен не только как разработчик ИТ-систем с использованием ИИ, но и как правообладатель двух российских процессоров

В сентябре 2022 г. писали об аресте бывшего топ-менеджера «Роснано» и ее портфельной ИТ-компании «Элвис-неотек» Наиля Губаева по статье о мошенничестве, совершенном организованной группой либо в особо крупном размере

В апреле 2022 г. компания выставила права на свои чипы на продажу — за 470 и 50 млн руб. соответственно

Один из них, VIP-1 строится на известной архитектуре ARM, другой, Elise — MIPS

Обе архитектуры созданы в соответствии с концепцией RISC, то есть для чипов с сокращенным набором команд

Представители «Элвис-неотека» объяснили продажу процессоров тем, что права на них относятся к результатам интеллектуальной деятельности (РИД), «которые в соответствии с новой стратегией развития компании не вошли в пул ключевых»

В Нижнем Новгороде набирает обороты масштабный проект по созданию инновационного научно-технологического центра «Квантовая долина»

Уже в 2025 году на улице Академика Сахарова начнется строительство новых производственно-лабораторных корпусов

Инвестиции в этот проект осуществят компании "Поликетон" и "НаноХимИнвест"

Их цель – создание современной площадки для исследований в области инновационных материалов и компонентов, необходимых для развития микроэлектроники и робототехники

Михаил Горшенин, генеральный директор АО "НаноХимИнвест", считает, что проект позволит достичь технологического суверенитета в радио- и микроэлектронике

В Нижнем Новгороде ООО «ТК Нефтепроминвест» инвестирует 2,2 млрд руб. в строительство центра малотоннажной химии для микроэлектронной промышленности

Комплекс появится в Сормовском районе в Нижегородском научно-образовательном центре (НОЦ)

По данным организации, центр будет состоять из четырех корпусов общей площадью 9,8 тыс. кв.м.: научно-инжиниринговый центр, лабораторно-производственный корпус, административный корпус с аналитической лабораторией и складское помещение

Проект будет реализовываться в несколько этапов, последний планируется завершить в 2030 г.

Строительство лабораторно-производственного корпуса на сегодняшний день уже ведется

НИИЭТ, помимо постыдной перемаркировки китайских GaN-транзисторов, производит и испытательные стенды для электроники: камера термоудара, стенд электротермотренировки, стенд испытания транзисторов

Которые выглядят, как собственная, российская разработка

Совсем недавно АО «НИИЭТ» выиграло несколько тендеров на поставку 21 испытательного стенда СИТ-210 своим белорусским партнёрам – компании «Интеграл»

«Интеграл» – крупнейший производитель интегральных микросхем и полупроводниковых приборов в Центральной и Восточной Европе и имеет 50-летний опыт в области разработки и производства микроэлектронных компонентов. Компания обладает высоким уровнем применяемых технологий и современным оборудованием

Данное оборудование представляет собой стенд термоэлектротренировки, который использует воздушное охлаждение

Особенность его в том, что он использует диапазон до 125 градусов и вмещает 21 плату, на каждой из которой могут быть расположены от 10 до 50 микросхем

Кроме того, АО «НИИЭТ» производит сборку уникального испытательного оборудования по индивидуальным техническим заданиям заказчиков

В дополнение к поставляемому испытательному оборудованию можно заказать услуги по изготовлению необходимой технологической оснастки по требованиям заказчика, не теряя время на подбор материалов и специалистов для последующей настройки, что существенно сократит срок ввода в эксплуатацию нового оборудования

Испытательные стенды могут применяться, в том числе, и для испытаний опытных образцов вновь разрабатываемых электронных компонентов, определения предельных режимов работы, а также для испытаний компонентной базы для таких областей применения, как автомобильная электроника, медицинская техника, промышленная автоматика и в других сферах

О первых знаковых разработках российских ученых, перспективах возрождения серийного производства установок для предприятий микроэлектронной отрасли и экспортном потенциале отечественного оборудования в интервью CNews рассказала генеральный директор компании «Нанотроника» Юлия Сухорослова

CNews: Как сейчас в России обстоит дело с производством оборудования для создания микроэлектроники?

Последние 20 лет в стране практически не создавались новые массовые серийные производства микроэлектроники. Поэтому долгое время российский рынок оборудования не развивался, потому что не было как такового рынка сбыта, а российские производители оборудования закрывали определенные участки технологического маршрута в небольших масштабах. Сейчас импортозамещение в микроэлектронике идет по всей цепочке, начиная от софта и заканчивая производством электронных устройств. Это дает стимул к развитию новых производств и, соответственно, разработке и созданию необходимых технологических установок внутри страны.
Когда мы говорим о микроэлектронике, то, прежде всего, имеем в виду кристальное производство чипов на кремниевых пластинах. Этот процесс сложен и освоен только в нескольких странах мира. Для запуска собственного кристального производства необходимо оборудование для литографии, имплантации, химической обработки, химико-механической планаризации, плазменного травления, нанесения слоев, метрологии и инспекции. И это неполный список. Стратегическая задача «Нанотроники» — предложить полную проверенную линейку оборудования по технологическому маршруту, снизив зависимость от зарубежных поставщиков, и используя, преимущественно отечественные разработки. Как собственные и создаваемые внутри контура Группы компаний «Элемент», так и партнерские решения.

CNews: Я слышала о том, что на отечественных производствах стоит достаточно старое оборудование, это так?

Сейчас какое-то количество предприятий отрасли продолжают работать на советском оборудовании 70-80-х годов выпуска. Часть этого оборудования была модернизирована и заменена зарубежным. Но после 2022 года нагрузка на заводы заметно увеличилась. Соответственно, выросла нагрузка и на оборудование. Речь идет о всей аналоговой, цифровой, СВЧ- и силовой микроэлектронике, которая сейчас выпускается в России. Это и микросхемы (микроконтроллеры, связные микросхемы, схемы питания), и полупроводниковые приборы (диоды, транзисторы и пр.) Поэтому потребности предприятий в новом оборудовании будут только расти.

CNews: Была ли потребность в нашей микроэлектронике до 2022 года?

Российские предприятия обеспечивали отечественной продукцией определенные сегменты рынка. Если говорить в цифрах, то по данным исследования Kept, в период с 2020 по 2023 год объем российского производства ЭКБ рос в среднем на 13% в год, в то время как рынок в целом показывал более чем двукратные темпы роста (27% — прим. ред.). До 2022 предприятия работали в одну смену, не все оборудование было загружено. Сейчас ситуация изменилась, потребность в российской компонентной базе растет. Поэтому растут инвестиции в производство. Например, на ключевых предприятиях «Элемента», как Микрон, НЗПП Восток и НИИЭТ, производство работает в 2-3 смены.

CNews: Что в этой связи может сделать «Нанотроника»?

Есть несколько технологических этапов производства микроэлектроники, которые в России только предстоит освоить (помимо тех 30%, которые страна уже может самостоятельно покрыть). Например, отечественное оборудование по метрологии, которое отвечает за контроль результатов технологического процесса, пока представлено лишь точечными узловыми наработками. По литографии большая ставка делается на партнерство российских и белорусских коллег. Отдельные процессы по типу химико-механической планаризации (химико-механическая полировка пластины после нанесения очередного слоя материала — прим. ред.) также не закрыты отечественными производителями, и равноценных китайских аналогов такого оборудования нет. Наша задача — создать и интегрировать такие установки в производственные линии, отладить их и запустить. При этом на какие-то проекты нужно собирать команды с нуля. Речь идет о разработке нового оборудования, по которому в стране еще нет технологического задела. К примеру, по той же химико-механической планаризации. Наша цель — довести российские разработки в этой сфере до серийного промышленного уровня и совместить их в едином технологическом цикле так, чтобы потребитель не ощутил критической разницы в технологических, эксплуатационных и экономических аспектах. Такой продукт будет востребован не только на внутреннем рынке, но и будет обладать максимальным экспортным потенциалом. По отдельным этапам есть первые серьезные шаги в этом направлении. Например, по совокупности параметров разработка НИИТМ в области эпитаксии превосходит зарубежные аналоги производства Aixtron или Veeco.

CNews: Есть ли понимание, куда можно экспортировать наше оборудование?

Геополитическая ситуация показала, что микроэлектроника — стратегически значимая отрасль, которая сама по себе может быть рычагом влияния. Технологическое развитие Китая, зависимость от американских и европейских технологий и оборудования стали вызывать беспокойство у других стран. Многие государства стали задумываться о создании собственной локальной микроэлектронной индустрии. Заходить в отрасль с нуля — это очень большой чек. А стран, которые развивали микроэлектронику с момента ее становления в 50-60 годы прошлого века и наработали весь базис, не так много. Это СССР, США, Япония и Европа. С 80-90-х годов к ним присоединился Китай. Мы видим интерес к нашей продукции за рубежом. Сама производственная линия с технологией, с лицензированным продуктом, с инженерной обвязкой может быть отдельным экспортным продуктом в концепции создания локальных производств для стран, которые также хотят иметь независимую микроэлектронику. В основном это дружественные страны — страны Ближнего Востока, регион MENA, Индия, Латинская Америка, частично Китай. У таких стран есть две альтернативы: или идти в Китай или работать с нами.

CNews: То есть иностранные партнеры также финансируют российские проекты по созданию оборудования?

На данном этапе мы тестируем спрос, основываясь на разных бизнес-моделях.

CNews: Как в России будет создаваться такое оборудование и какова ваша в этой задаче роль?

Российских компаний, которые работают в сфере электронного машиностроения, порядка одного-двух десятков. Из них не более пяти-семи занимаются мелкосерийной сборкой оборудования. В их числе — НИИТМ, НИИПМ, НТО и другие. Таким ресурсом обеспечить все потребности отрасли в технологических установках достаточно сложно. Особенно, если каждый будет заниматься своим небольшим участком. К тому же, у небольших компаний нет достаточного ресурса для того, чтобы создать серийное производство промышленного оборудования. Для этого необходим собственный инфраструктурный парк, большее количество людей в команде и другой уровень технологических решений. Мы понимаем, что разрабатывать оборудование с нуля не хватит ни жизни, ни денег, поэтому задача — максимально использовать тот ресурс, который есть сейчас. Производителю нужно тесно взаимодействовать с потребителями. «Элемент» как крупный заказчик этого оборудования имеет реальный опыт его эксплуатации. Таким образом группа создает комбинацию заказчика-потребителя с компаниями-разработчиками. И это поможет создать продукт, который будет максимально востребованным на рынке. Задача «Нанотроники» — консолидировать ресурсы, которыми обладает группа компаний «Элемент» и которые есть на рынке, для создания промышленных установок с последующей конвертацией их в готовую линейку оборудования для микроэлектронных производств.

CNews: В отрасли огромная проблема с кадрами. Откуда вы будете их брать для новых для страны проектов?

Опыт и школа у нас действительно неплохие. Если дать учебным заведениям доступ к действующим производствам — шансы на положительный результат будут значительно выше. Сегодня большое количество специалистов, обладающих достаточными знаниями и опытом в области машиностроения, сконцентрировано вокруг научных центров и институтов РАН. В 2010-е годы, иностранные компании нанимали российских специалистов из таких институтов. Наши научные группы разрабатывали достаточно большое количество технических решений для современного микроэлектронного оборудования. Например, технологии изготовления многослойных зеркал для оборудования ASML разрабатывались в Институте физики микроструктур РАН (ИФМ РАН). В Троицке разрабатывали технологии генерации излучения экстремального ультрафиолета (используется в последнем поколении литографического оборудования). В России также сильны компетенции в моделировании технологических процессов. Российские специалисты разрабатывали программные продукты по заказу одного из ведущих международных игроков в производстве технологического оборудования для микроэлектроники Applied Materials.

CNews: Сейчас эти команды вернулись в институты или работают на иностранные компании?

По-разному. Кто-то так и остался в контуре научных институтов. Поэтому мы плотно взаимодействуем с ними. Наша задача — найти такие группы, привлечь их к работе над созданием собственной линейки оборудования. Другие — организовали собственные небольшие компании, которые занимаются обслуживанием, модернизацией установок, заказной разработкой отдельных единиц оборудования. У них, как правило, более 10 лет опыта работы с технологическим оборудованием, обслуживанием и разработкой.

CNews: Вы рассматриваете наем российских специалистов из зарубежных компаний?

Сейчас мы готовимся запустить программу по привлечению российских специалистов с международным опытом. К счастью, мы наблюдаем, что многие из них либо вернулись, либо собираются вернуться в Россию. Мы привлекаем и формируем группы технологических лидеров: во главе направлений стоит сильный «технарь» с опытом работы в ведущих мировых производителях оборудования. Большая часть команды имеет степень кандидатов наук. И уже под них мы формируем команду специалистов, которые по цепочке привлекают дополнительные компетенции.

CNews: В отрасли также часто обсуждается то, что кадры достаточно возрастные. Почему нет молодых специалистов?

Раньше обучение по программе «Электронное машиностроение» было выделено в отдельное направление. Сейчас этого нет. Из ведущих вузов есть профильная кафедра в МГТУ им Баумана. Исторически компетенции представлены в МИЭТ, МФТИ, МИФИ, МИЭМ и других университетах. У нас в стране есть технологи-электронщики, которые не умеют разрабатывать оборудование, и есть отдельно инженеры-конструкторы, но они не разбираются в микроэлектронике. Нам нужен именно микс станкостроителей, которые хорошо понимают микроэлектронику. Нам нужны физики, оптики, специалисты по вакуумной технике, лазерщики, программисты и так далее. Сейчас в «Нанотронике» более 20 инженеров и руководителей с техническим образованием, в то время как в НИИТМ — более 200. К 2030 году мы планируем собрать в периметре Группы и в рамках работы с партнерами порядка 2000 специалистов. Чтобы закрыть потребность в специалистах мы сотрудничаем с вузами, открываем лаборатории и кафедры на базе ведущих технических учебных заведений страны.

CNews: Вы сами откуда пришли? И простите, но вы очень молодо выглядите, сколько вам лет?

Мне 31 год. Я заканчивала МИФИ, кафедру микро-и наноэлектроники. По основной специальности я — инженер-физик, второе образование — это экономическая безопасность. Работала в Ростехе, запускала свой проект по оборудованию для химического травления. Он был поддержан и получил грант на реализацию. Он используется как раз в МИФИ. Раньше микроэлектроника не была модной. Но я никогда не понимала, почему так. Микроэлектроника — это фундамент технологического развития всей цифровой индустрии и нашей страны, и я была уверена, что рано или поздно все изменится.

CNews: Планируете ли вы приобретать компании для развития направления технологического оборудования?

Программа развития «Нанотроники» допускает покупку небольших стартапов и компаний со специализацией в области машиностроения. Это не самый простой процесс, но это как раз под силу такому крупному игроку как «Элемент», который предлагает стартапам доступ к рынку, инвестиции и возможность выходить на бюджетные инструменты поддержки.

CNews: Это финансируется только группой «Элемент» или часть средств предоставляет Минпромторг?

Покупка компаний, создание команды, обеспечение инфраструктуры преимущественно финансируется за средства Группы и является частью инвестпрограммы «Элемента» до 2026 года. Кроме того, есть разные инструменты поддержки отрасли, начиная от субсидий, заканчивая заказными опытно-конструкторскими разработками. Основной инструмент финансирования — это комплексная программа развития электронного машиностроения, которую курирует и финансирует Минпромторг. Общий объем финансирования программы превышает 200 миллиардов рублей и предусматривает финансирование опытно-конструкторских разработок оборудования и материалов для микроэлектроники.

CNews: Это много или мало для развития отрасли?

С точки зрения развития микроэлектронной отрасли для России — это беспрецедентные меры. То есть если сравнивать с 2020-м годом, то годовой объем поддержки составлял в среднем 10-15 миллиардов. Поэтому формирование таких программ как развитие электронного машиностроения — это беспрецедентная мера. С другой стороны, если мы посмотрим на мировой рынок, то создание каждой единицы оборудования занимает десятилетия, задействует огромное количество людей и совсем другие деньги. По сути, сейчас мы воссоздаем целую индустрию. При этом даже если сейчас залить отрасль триллионами рублей, то кадров недостаточно. И их необходимо вырастить.

CNews: Какие разработки сейчас ведет «Нанотроника»?

Сейчас есть несколько флагманских проектов, по которым ведутся разработки, общий портфель которых составляет порядка 10 миллиардов рублей. Отдельные проекты, как, например, эпитаксия нитрида галлия, это оборудование используется в производстве силовой электроники, сейчас находятся в завершающей стадии. Со следующего года мы планируем запустить серийное производство таких установок. Другое направление, по которому ведутся работы, — это установки для ионного легирования. Это второй по значимости и сложности процесс в производстве микроэлектроники после литографии. Такое оборудование весит больше 15 тонн. Это очень масштабная история, которую может развернуть не каждое предприятие. В 80-е годы в стране оборудование для легирования выпускалось серийно. И эта работа была полностью утеряна. К счастью, удалось восстановить часть команды, которая еще тогда разрабатывала установки и которые были крайне рады вновь вернуться к работе. Мы собрали вокруг них целые команды молодых талантливых инженеров и дополнительно привлекли команды специалистов РАН. Это не реверс инжиниринг, это именно воссоздание школы машиностроения. Эти специалисты обладают необходимыми компетенциями и пониманием, что делать, но теперь применяют более современные решения.

CNews: Где вы планируете серийно производить оборудование?

В России сейчас отсутствует площадка для серийного производства технологического оборудования. Отдельные установки собираются на площадке НИИТМ. По мере выхода новых проектов на серийное производство потребуется современная площадка, которая будет обладать собственным комплексом чистых помещений для финишной сборки и технологической аттестации, а также тестирования оборудования. Одним из базовых обсуждаемых сейчас вариантов является создание такой площадки в Зеленограде. С одной стороны, город очень удобен с точки зрения близости к производственной инфраструктуре, с другой — необходимо учитывать, что район перегружен. Строительство такой площадки может начаться уже в следующем году.

CNews: Что будет включать площадка?

Это комплекс помещений для узловой сборки, комплекс чистых помещений для сборки и технологической аттестации и тестирования, метрологический комплекс для измерений работы оборудования. И скорее всего, отдельно будет вынесен механообрабатывающий комплекс. При этом, мы не исключаем, что будем использовать в этом смысле контрактное производство, которое сейчас планирует создать государство.

CNews: Сколько стоит такая площадка?

Пока сложно говорить о конкретных цифрах, диапазон достаточно велик.

CNews: К чему вы планируете прийти в перспективе пятилетки?

Наша цель, которую и мы определяем для себя, и которую разделяет Министерство промышленности и торговли, к 2030 году — 70% техпроцессов должны выполняться на отечественном оборудовании. Речь о самых основных операциях, которые задействованы в создании микроэлектроники, Остальные 30% наименее критических направлений могут быть реализованы за счет поставщиков из Китая, где есть широкая линейка компаний, из которых можно выбрать.