RUSMICRO Telegram 6470
πŸ‡―πŸ‡΅ Π’Π΅Ρ…Π½ΠΎΠ»ΠΎΠ³ΠΈΠΈ микроэлСктроники ΠΈ ΠΎΠΏΡ‚ΠΈΠΊΠ°. ПлоскиС Π»ΠΈΠ½Π·Ρ‹. Япония

Π£Ρ‡Π΅Π½Ρ‹Π΅ ΠΈΠ· Вокийского унивСрситСта ΠΈ JSR Corp. ΠΈΠ·Π³ΠΎΡ‚ΠΎΠ²ΠΈΠ»ΠΈ ΠΈ протСстировали плоскиС Π»ΠΈΠ½Π·Ρ‹ (FZP ΠΈΠ»ΠΈ пластины ЀрСнСля).

ΠžΡΠΎΠ±Π΅Π½Π½ΠΎΡΡ‚ΡŒ ΠΏΠΎΠ΄Ρ…ΠΎΠ΄Π° - Π»ΠΈΠ½Π·Ρ‹ Π²Ρ‹ΠΏΡƒΡ‰Π΅Π½Ρ‹ с ΠΏΠΎΠΌΠΎΡ‰ΡŒΡŽ стандартного оборудования для микроэлСктронного производства. ΠŸΡ€ΠΈΠΌΠ΅Π½ΡΠ»ΡΡ особый Π²ΠΈΠ΄ фоторСзиста, Ρ‚Π°ΠΊ Π½Π°Π·Ρ‹Π²Π°Π΅ΠΌΡ‹ΠΉ "Ρ†Π²Π΅Ρ‚Π½ΠΎΠΉ фоторСзист". Π›ΠΈΠ½Π·Ρ‹ созданы Π² Ρ…ΠΎΠ΄Π΅ процСсса нанСсСния, экспонирования ΠΈ проявки фоторСзиста.

Π‘ΠΎΠ·Π΄Π°Π½Π½Ρ‹Π΅ Π»ΠΈΠ½Π·Ρ‹ способны Ρ„ΠΎΠΊΡƒΡΠΈΡ€ΠΎΠ²Π°Ρ‚ΡŒ свСт с Ρ€Π°Π·Ρ€Π΅ΡˆΠ΅Π½ΠΈΠ΅ΠΌ Π΄ΠΎ 1,1 ΠΌΠΊΠΌ. К соТалСнию, ΡΡ„Ρ„Π΅ΠΊΡ‚ΠΈΠ²Π½ΠΎΡΡ‚ΡŒ Ρ‚Π°ΠΊΠΈΡ… Π»ΠΈΠ½Π· вСсьма скромная - лишь 7%, ΠΎΠ½ΠΈ ΡΠΎΠ·Π΄Π°ΡŽΡ‚ "ΡˆΡƒΠΌΠ½Ρ‹Π΅" изобраТСния. Π Π°Π·Ρ€Π°Π±ΠΎΡ‚Ρ‡ΠΈΠΊΠΈ ΡƒΡ‚Π²Π΅Ρ€ΠΆΠ΄Π°ΡŽΡ‚, Ρ‡Ρ‚ΠΎ Π·Π½Π°ΡŽΡ‚, ΠΊΠ°ΠΊ ΡƒΠ»ΡƒΡ‡ΡˆΠΈΡ‚ΡŒ этот ΠΏΠΎΠΊΠ°Π·Π°Ρ‚Π΅Π»ΡŒ, ΠΌΠΈΠ½ΠΈΠΌΡƒΠΌ, Π² 4 Ρ€Π°Π·Π°. Для этого ΠΈΠΌ придСтся ΠΌΠΎΠ΄ΠΈΡ„ΠΈΡ†ΠΈΡ€ΠΎΠ²Π°Ρ‚ΡŒ фоторСзист.

Π‘ΠΎΠ·Π΄Π°Π½Ρ‹ Ρ†ΠΈΡ„Ρ€ΠΎΠ²Ρ‹Π΅ ΠΌΠΎΠ΄Π΅Π»ΠΈ FZP, Ρ‡Ρ‚ΠΎ позволяСт Π°Π΄Π°ΠΏΡ‚ΠΈΡ€ΠΎΠ²Π°Ρ‚ΡŒ ΠΊΠΎΠ½ΠΊΡ€Π΅Ρ‚Π½Ρ‹Π΅ Π»ΠΈΠ½Π·Ρ‹ ΠΏΠΎΠ΄ ΠΊΠΎΠ½ΠΊΡ€Π΅Ρ‚Π½Ρ‹Π΅ Π·Π°Π΄Π°Ρ‡ΠΈ. ΠžΡ‚ΠΌΠ΅Ρ‡Π°Π΅Ρ‚ΡΡ, Ρ‡Ρ‚ΠΎ проявка фоторСзиста Π½Π΅ Ρ‚Ρ€Π΅Π±ΡƒΠ΅Ρ‚ примСнСния токсичных ΠΌΠ°Ρ‚Π΅Ρ€ΠΈΠ°Π»ΠΎΠ².

@RUSmicro ΠΏΠΎ ΠΌΠ°Ρ‚Π΅Ρ€ΠΈΠ°Π»Π°ΠΌ Научная Россия , научная публикация - Light Science & Applications ; Ρ„ΠΎΡ‚ΠΎ: Β©2024 Konishi et al. CC-BY-ND



tgoop.com/RUSmicro/6470
Create:
Last Update:

πŸ‡―πŸ‡΅ Π’Π΅Ρ…Π½ΠΎΠ»ΠΎΠ³ΠΈΠΈ микроэлСктроники ΠΈ ΠΎΠΏΡ‚ΠΈΠΊΠ°. ПлоскиС Π»ΠΈΠ½Π·Ρ‹. Япония

Π£Ρ‡Π΅Π½Ρ‹Π΅ ΠΈΠ· Вокийского унивСрситСта ΠΈ JSR Corp. ΠΈΠ·Π³ΠΎΡ‚ΠΎΠ²ΠΈΠ»ΠΈ ΠΈ протСстировали плоскиС Π»ΠΈΠ½Π·Ρ‹ (FZP ΠΈΠ»ΠΈ пластины ЀрСнСля).

ΠžΡΠΎΠ±Π΅Π½Π½ΠΎΡΡ‚ΡŒ ΠΏΠΎΠ΄Ρ…ΠΎΠ΄Π° - Π»ΠΈΠ½Π·Ρ‹ Π²Ρ‹ΠΏΡƒΡ‰Π΅Π½Ρ‹ с ΠΏΠΎΠΌΠΎΡ‰ΡŒΡŽ стандартного оборудования для микроэлСктронного производства. ΠŸΡ€ΠΈΠΌΠ΅Π½ΡΠ»ΡΡ особый Π²ΠΈΠ΄ фоторСзиста, Ρ‚Π°ΠΊ Π½Π°Π·Ρ‹Π²Π°Π΅ΠΌΡ‹ΠΉ "Ρ†Π²Π΅Ρ‚Π½ΠΎΠΉ фоторСзист". Π›ΠΈΠ½Π·Ρ‹ созданы Π² Ρ…ΠΎΠ΄Π΅ процСсса нанСсСния, экспонирования ΠΈ проявки фоторСзиста.

Π‘ΠΎΠ·Π΄Π°Π½Π½Ρ‹Π΅ Π»ΠΈΠ½Π·Ρ‹ способны Ρ„ΠΎΠΊΡƒΡΠΈΡ€ΠΎΠ²Π°Ρ‚ΡŒ свСт с Ρ€Π°Π·Ρ€Π΅ΡˆΠ΅Π½ΠΈΠ΅ΠΌ Π΄ΠΎ 1,1 ΠΌΠΊΠΌ. К соТалСнию, ΡΡ„Ρ„Π΅ΠΊΡ‚ΠΈΠ²Π½ΠΎΡΡ‚ΡŒ Ρ‚Π°ΠΊΠΈΡ… Π»ΠΈΠ½Π· вСсьма скромная - лишь 7%, ΠΎΠ½ΠΈ ΡΠΎΠ·Π΄Π°ΡŽΡ‚ "ΡˆΡƒΠΌΠ½Ρ‹Π΅" изобраТСния. Π Π°Π·Ρ€Π°Π±ΠΎΡ‚Ρ‡ΠΈΠΊΠΈ ΡƒΡ‚Π²Π΅Ρ€ΠΆΠ΄Π°ΡŽΡ‚, Ρ‡Ρ‚ΠΎ Π·Π½Π°ΡŽΡ‚, ΠΊΠ°ΠΊ ΡƒΠ»ΡƒΡ‡ΡˆΠΈΡ‚ΡŒ этот ΠΏΠΎΠΊΠ°Π·Π°Ρ‚Π΅Π»ΡŒ, ΠΌΠΈΠ½ΠΈΠΌΡƒΠΌ, Π² 4 Ρ€Π°Π·Π°. Для этого ΠΈΠΌ придСтся ΠΌΠΎΠ΄ΠΈΡ„ΠΈΡ†ΠΈΡ€ΠΎΠ²Π°Ρ‚ΡŒ фоторСзист.

Π‘ΠΎΠ·Π΄Π°Π½Ρ‹ Ρ†ΠΈΡ„Ρ€ΠΎΠ²Ρ‹Π΅ ΠΌΠΎΠ΄Π΅Π»ΠΈ FZP, Ρ‡Ρ‚ΠΎ позволяСт Π°Π΄Π°ΠΏΡ‚ΠΈΡ€ΠΎΠ²Π°Ρ‚ΡŒ ΠΊΠΎΠ½ΠΊΡ€Π΅Ρ‚Π½Ρ‹Π΅ Π»ΠΈΠ½Π·Ρ‹ ΠΏΠΎΠ΄ ΠΊΠΎΠ½ΠΊΡ€Π΅Ρ‚Π½Ρ‹Π΅ Π·Π°Π΄Π°Ρ‡ΠΈ. ΠžΡ‚ΠΌΠ΅Ρ‡Π°Π΅Ρ‚ΡΡ, Ρ‡Ρ‚ΠΎ проявка фоторСзиста Π½Π΅ Ρ‚Ρ€Π΅Π±ΡƒΠ΅Ρ‚ примСнСния токсичных ΠΌΠ°Ρ‚Π΅Ρ€ΠΈΠ°Π»ΠΎΠ².

@RUSmicro ΠΏΠΎ ΠΌΠ°Ρ‚Π΅Ρ€ΠΈΠ°Π»Π°ΠΌ Научная Россия , научная публикация - Light Science & Applications ; Ρ„ΠΎΡ‚ΠΎ: Β©2024 Konishi et al. CC-BY-ND

BY RUSmicro




Share with your friend now:
tgoop.com/RUSmicro/6470

View MORE
Open in Telegram


Telegram News

Date: |

Telegram has announced a number of measures aiming to tackle the spread of disinformation through its platform in Brazil. These features are part of an agreement between the platform and the country's authorities ahead of the elections in October. best-secure-messaging-apps-shutterstock-1892950018.jpg Clear ZDNET RECOMMENDS How to Create a Private or Public Channel on Telegram?
from us


Telegram RUSmicro
FROM American