Литография в домашних условиях

Сейчас есть несколько флагманских проектов, по которым ведутся разработки, общий портфель которых составляет порядка 10 миллиардов рублей. Отдельные проекты, как, например, эпитаксия нитрида галлия, это оборудование используется в производстве силовой электроники, сейчас находятся в завершающей стадии. Со следующего года мы планируем запустить серийное производство таких установок. Другое направление, по которому ведутся работы, — это установки для ионного легирования. Это второй по значимости и сложности процесс в производстве микроэлектроники после литографии. Такое оборудование весит больше 15 тонн. Это очень масштабная история, которую может развернуть не каждое предприятие. В 80-е годы в стране оборудование для легирования выпускалось серийно. И эта работа была полностью утеряна. К счастью, удалось восстановить часть команды, которая еще тогда разрабатывала установки и которые были крайне рады вновь вернуться к работе. Мы собрали вокруг них целые команды молодых талантливых инженеров и дополнительно привлекли команды специалистов РАН. Это не реверс инжиниринг, это именно воссоздание школы машиностроения. Эти специалисты обладают необходимыми компетенциями и пониманием, что делать, но теперь применяют более современные решения.

CNews: Где вы планируете серийно производить оборудование?

В России сейчас отсутствует площадка для серийного производства технологического оборудования. Отдельные установки собираются на площадке НИИТМ. По мере выхода новых проектов на серийное производство потребуется современная площадка, которая будет обладать собственным комплексом чистых помещений для финишной сборки и технологической аттестации, а также тестирования оборудования. Одним из базовых обсуждаемых сейчас вариантов является создание такой площадки в Зеленограде. С одной стороны, город очень удобен с точки зрения близости к производственной инфраструктуре, с другой — необходимо учитывать, что район перегружен. Строительство такой площадки может начаться уже в следующем году.

CNews: Что будет включать площадка?

Это комплекс помещений для узловой сборки, комплекс чистых помещений для сборки и технологической аттестации и тестирования, метрологический комплекс для измерений работы оборудования. И скорее всего, отдельно будет вынесен механообрабатывающий комплекс. При этом, мы не исключаем, что будем использовать в этом смысле контрактное производство, которое сейчас планирует создать государство.

CNews: Сколько стоит такая площадка?

Пока сложно говорить о конкретных цифрах, диапазон достаточно велик.

CNews: К чему вы планируете прийти в перспективе пятилетки?

Наша цель, которую и мы определяем для себя, и которую разделяет Министерство промышленности и торговли, к 2030 году — 70% техпроцессов должны выполняться на отечественном оборудовании. Речь о самых основных операциях, которые задействованы в создании микроэлектроники, Остальные 30% наименее критических направлений могут быть реализованы за счет поставщиков из Китая, где есть широкая линейка компаний, из которых можно выбрать.

CNews.ru

Юлия Сухорослова: У нас есть возможность довести российские разработки оборудования до экспортного уровня - CNews

О первых знаковых разработках российских ученых, перспективах возрождения серийного производства установок...

www.tgoop.com/lithography1mm/93

3.9K viewsDec 24 at 19:22

Сейчас есть несколько флагманских проектов, по которым ведутся разработки, общий портфель которых составляет порядка 10 миллиардов рублей. Отдельные проекты, как, например, эпитаксия нитрида галлия, это оборудование используется в производстве силовой электроники, сейчас находятся в завершающей стадии. Со следующего года мы планируем запустить серийное производство таких установок. Другое направление, по которому ведутся работы, — это установки для ионного легирования. Это второй по значимости и сложности процесс в производстве микроэлектроники после литографии. Такое оборудование весит больше 15 тонн. Это очень масштабная история, которую может развернуть не каждое предприятие. В 80-е годы в стране оборудование для легирования выпускалось серийно. И эта работа была полностью утеряна. К счастью, удалось восстановить часть команды, которая еще тогда разрабатывала установки и которые были крайне рады вновь вернуться к работе. Мы собрали вокруг них целые команды молодых талантливых инженеров и дополнительно привлекли команды специалистов РАН. Это не реверс инжиниринг, это именно воссоздание школы машиностроения. Эти специалисты обладают необходимыми компетенциями и пониманием, что делать, но теперь применяют более современные решения.

CNews: Где вы планируете серийно производить оборудование?

В России сейчас отсутствует площадка для серийного производства технологического оборудования. Отдельные установки собираются на площадке НИИТМ. По мере выхода новых проектов на серийное производство потребуется современная площадка, которая будет обладать собственным комплексом чистых помещений для финишной сборки и технологической аттестации, а также тестирования оборудования. Одним из базовых обсуждаемых сейчас вариантов является создание такой площадки в Зеленограде. С одной стороны, город очень удобен с точки зрения близости к производственной инфраструктуре, с другой — необходимо учитывать, что район перегружен. Строительство такой площадки может начаться уже в следующем году.

CNews: Что будет включать площадка?

Это комплекс помещений для узловой сборки, комплекс чистых помещений для сборки и технологической аттестации и тестирования, метрологический комплекс для измерений работы оборудования. И скорее всего, отдельно будет вынесен механообрабатывающий комплекс. При этом, мы не исключаем, что будем использовать в этом смысле контрактное производство, которое сейчас планирует создать государство.

CNews: Сколько стоит такая площадка?

Пока сложно говорить о конкретных цифрах, диапазон достаточно велик.

CNews: К чему вы планируете прийти в перспективе пятилетки?

Наша цель, которую и мы определяем для себя, и которую разделяет Министерство промышленности и торговли, к 2030 году — 70% техпроцессов должны выполняться на отечественном оборудовании. Речь о самых основных операциях, которые задействованы в создании микроэлектроники, Остальные 30% наименее критических направлений могут быть реализованы за счет поставщиков из Китая, где есть широкая линейка компаний, из которых можно выбрать.

BY Литография в домашних условиях